光栅尺1um的精度更高。光栅尺的精度是指其刻度的最小分辨能力，1um的光栅尺表示其刻度最小间隔为1微米，而5um的光栅尺则表示其刻度最小间隔为5微米。因此，1um的光栅尺能够提供更为精细的测量结果，适用于对尺度要求较高的领域，如精密机械制造和精密测量。而5um的光栅尺则适用于对精度要求相对较低的场合。因此，从精度上来看，1um的光栅尺明显更胜一筹。