12寸晶圆金属不适合使用铝的原因主要是因为铝的硬度和抗腐蚀性能都比较低。 在12寸晶圆加工过程中需要承受高度的压力和热度,如果使用铝会容易断裂或变形,影响产品质量和生产效率。
同时,铝的抗腐蚀性能较差,易受到化学腐蚀和氧化腐蚀等影响,可能导致晶圆材料损失,进一步增加了生产成本和时间成本。
因此,为了保证产品质量和生产效率,现在普遍使用硅、玻璃、石英等材料去代替铝。