滑枕补偿是一种提高测量精度的方法，主要通过补偿热量传输误差来实现。在滑枕结构中，通常存在两个油腔：一个静压油腔和一个补偿油腔。数控系统通过读写预先定义好的变量，能够改变油腔的压力大小，从而实现精度补偿。
当滑枕伸出时，通过光栅尺将滑枕伸出的长度变化值采用全闭环方式反馈给数控系统。数控系统根据这些外界信号，控制伺服式全数字式电液比例阀调整补偿油腔中的压力，使得补偿力逐渐增大。相反，当滑枕缩回时，补偿力会逐渐减小。这样，在滑枕伸出和缩回的全过程中，数控系统都能够对补偿力的大小进行非线性补偿，从而提高滑枕的精度。
此外，滑枕前端可能会安装附件，这些附件的重量会对滑枕前端的受力产生影响。由于不同附件的重量不同，因此滑枕前端的受力也会发生不同的变化。在这种情况下，可以通过限位开关等附件识别装置将附件识别信号反馈给数控系统。数控系统根据这些信号控制数字式伺服电液比例阀，调整油腔的压力以适应附件的重量，并且这个压力会随着滑枕伸出位置的不同而变化。这样就能够平衡附件的重力及附加扭矩，进一步提高滑枕的精度和稳定性。