清洗工序清洗后硅片表面有白点，可能是以下原因造成的： 清洗液中的杂质或颗粒物附着在硅片表面，在清洗过程中没有被完全去除。

清洗液与硅片材料不兼容，导致硅片表面发生腐蚀或氧化，产生白点。

清洗过程中硅片表面受到机械损伤，产生白点。

清洗后硅片没有经过适当的干燥处理，导致水渍或其他残留物在硅片表面形成白点。

清洗液的浓度过高或过低，导致清洗效果不佳，硅片表面残留污渍或杂质，产生白点。